Metall qatlamlash jarayoni

Integratsiyalashgan deputatning integratsiyalashgan ishlab chiqarishning asosiy bosqichlaridan biri bu yupqa plyonka qatlamini olib tashlash va tikanli filmga mutlaqo mos keladigan ingichka plyonkaga ega bo'lgan ingichka plyonkaga ega bo'lishi kerak . .
Bir integral mikrosxemalar ishlab chiqarishda niqobni tekislash, ta'sir qilish va rivojlanish kabi bir qator yaxshi operatsiyalar, shuningdek, tikuvchilik plyonkalarini aniq takrorlash uchun kerakli, shuningdek, yuqori aniqlikdagi naqshni aniq takrorlash kerak
Ushbu bosqichni tugatgandan so'ng, naqshni asta-sekin dizayn talablariga mutlaqo mos keladigan ingichka kino qatlamiga (masalan, alyuminiy nitrid, poliinkalli kremniy) yoki metall yupqa plyonkaga olib boriladi . .

Etching jarayoni ushbu jarayonda juda muhim rol o'ynaydi, ularda kimyoviy, jismoniy yoki ikkala usulning kombinatsiyasini tanlab, bunga qarshi kurashda . .Etching texnologiyasining yadrosi uning tanlovchiligida, ya'ni turar joy bilan himoyalangan qismlarni saqlab qolgan qismlarini saqlab qolgan qismlarini olib tashlamaydi . . .
Etching Technology asosan ikki turga bo'linadi: quruq latsiya va nam etiklash .Quruq qatdan, yodlash uchun reaktiv gaz va plazmadan foydalanadi, ya'ni suyuq eritmalar va odatda suyuq muhitda va odatda suyuqlik vositalari bilan kimyoviy reaktsiyalar va odatda suyuqlik materiallarini echib oling . .
Ushbu ikki etch usullari Har birining shaxsiy afzalliklari va kamchiliklari, ular tanlab olinishi va yakuniy nozik yupqa qatlamli naqsh olish kerakligini ta'minlash kerak . . .